1. 每日檢查各路氣體壓力或液氮量，每日清洗離子源流路；
2. 每周清洗離子源內(nèi)腔體，清洗Curtain Plate,Orifice外部以及檢查機(jī)械泵油量；
3. 三個(gè)月更換一次機(jī)械泵油，清洗一次機(jī)械泵濾網(wǎng)；
4. 每半年進(jìn)行一次儀器除塵；
5. PPG質(zhì)量校正：每次開關(guān)機(jī)時(shí)
6. 更換空氣過濾網(wǎng)：過濾網(wǎng)堵塞時(shí)
7. 更換PEEK管/噴霧針：發(fā)現(xiàn)堵塞時(shí)
8. 清洗interface、Q0、orifice內(nèi)部：如又需要，聯(lián)系工程師
9. 每年更換或清理機(jī)械泵廢氣回油裝置

簡明維修步驟

1. 檢查各路氣體壓力或液氮量 — Gas1/2  0.7MPa，Curtain/CAD，Exhaust Gas 0.35-0.4MPa
2. 清洗離子源流路 — 50：50甲醇水 為流動(dòng)相200uL/min 沖洗10-20分鐘
3. 清洗離子源內(nèi)腔體 — 50：50甲醇水 無塵紙擦拭
4. 清洗Curtain Plate,Orifice外部 — 50：50甲醇水 無塵紙擦拭，再用甲醇擦拭，用氮?dú)獯蹈?/span>
5. 檢查機(jī)械泵油量 — 油量窗口正中紅色圓點(diǎn)上下
6. 更換機(jī)械泵油 — 停機(jī)，冷卻，放空舊油后用100ML-200ML新油沖洗，后加油至正常位置，需用8mm內(nèi)六角工具。（不同型號(hào)廠家的油不可混用）
7. 清洗機(jī)械泵濾網(wǎng) — 拆下機(jī)械泵進(jìn)氣口濾網(wǎng)，清洗吹干裝上
8. 儀器除塵 — 停機(jī)，打開前后蓋，用氮?dú)獯祾唠娐钒澹L(fēng)扇（不要接觸電路電線）
9. PPG質(zhì)量校正 — 參考裝機(jī)調(diào)試手冊Q1、Q3、POS、NEG測試步驟
10. 更換空氣過濾網(wǎng) — 松開濾網(wǎng)前固定柵板，更換新的濾網(wǎng)
11. 更換PEEK管 — 長度確定，使用專用切管器環(huán)形切斷，切平
12. 更換噴霧針 — 安裝時(shí)噴針與兩通接觸后用工具擰緊，防止死體積
13. 清洗interface,Q0,orifice內(nèi)部 — 50：50甲醇水清洗，專用大/小棉簽 無塵布擦拭，氮?dú)獯蹈?/span>
14. 更換或清理機(jī)械泵廢氣回油裝置 — 需在工程師指導(dǎo)下完成，需專用內(nèi)六角工具